在一些集成电路的精密机械车间中,对于无尘车间的洁净程度更加严格。甚至空气中的温度是需要控制在正负不超过二摄氏度的范围,原因在于集成电路的零部件极1小,微小的温差极可能带来零部件的膨胀或者收缩,直接影响到成品率。
因此无尘车间前需要建设一定面积的缓冲区域,在人员、设备和物料进入无尘车间之前需要先在缓冲区域进行初步的清洁,保证其上含有的污染物被清除,不会对车间内的环境造成负1面的影响。这种缓冲区域称之为风淋车间。
集成电路无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室,该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室,集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。
无尘车间温湿度是如何的?温湿度在无尘车间起到什么作用呢?是这样的,无尘车间温湿度是检验无尘车间内部稳定性的一项重要工作,目的是确认空气处理设施的温度控制能力。无尘车间湿度的测试通常采用通风干湿球湿度计、电容式湿度计、数字式湿度计、毛发式湿度仪器。相对湿度测试的测点、测试频度和时间与温度测试时间相同,建议采用一同测试。
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